ଲିଥୋଗ୍ରାଫି ମେସିନ୍ ମାସ୍କ ଆଲାଇଜର୍ ଫଟୋ-ଏଚିଂ ମେସିନ୍ |

ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟକରଣ

1. ଏକ୍ସପୋଜର କ୍ଷେତ୍ର: 110mm × 110mm ；
2. ★ ଏକ୍ସପୋଜର ତରଙ୍ଗଦ eng ର୍ଘ୍ୟ: 365nm;
3. ସଂକଳ୍ପ: ≤ 1 ମି;
4. ଶ୍ରେଣୀବଦ୍ଧତା ସଠିକତା: 0.8 ମିଟର;
5. ଆଲାଇନ୍ମେଣ୍ଟ ସିଷ୍ଟମର ସ୍କାନିଂ ଟେବୁଲର ଗତି ପରିସର ଅତି କମରେ ପୂରଣ ହେବ: Y: 10mm;
6. ଆଲାଇନ୍ମେଣ୍ଟ ସିଷ୍ଟମର ବାମ ଏବଂ ଡାହାଣ ହାଲୁକା ଟ୍ୟୁବ୍ X, y ଏବଂ Z ଦିଗରେ, X ଦିଗ: ± 5mm, Y ଦିଗ: ± 5mm ଏବଂ Z ଦିଗ: ± 5mm;
7. ମାସ୍କ ଆକାର: 2.5 ଇଞ୍ଚ, 3 ଇଞ୍ଚ, 4 ଇଞ୍ଚ, 5 ଇଞ୍ଚ;
8. ନମୁନା ଆକାର: ଖଣ୍ଡ, 2 ", 3", 4 ";
9. ample ନମୁନା ଘନତା ପାଇଁ ଉପଯୁକ୍ତ: 0.5-6 ମିମି, ଏବଂ ଅଧିକାଂଶରେ 20 ମିମି ନମୁନା ଖଣ୍ଡକୁ ସମର୍ଥନ କରିପାରିବ (କଷ୍ଟମାଇଜ୍);
10. ଏକ୍ସପୋଜର ମୋଡ୍: ସମୟ (କାଉଣ୍ଟଡାଉନ୍ ମୋଡ୍);
11. ଆଲୋକର ସମାନତା: ＜ 2.5%;
12. ଡୁଆଲ୍ ଫିଲ୍ଡ ସିସିଡି ଆଲାଇନ୍ମେଣ୍ଟ ମାଇକ୍ରୋସ୍କୋପ୍: ଜୁମ୍ ଲେନ୍ସ (1-5 ଥର) + ମାଇକ୍ରୋସ୍କୋପ୍ ଅବଜେକ୍ଟିଭ୍ ଲେନ୍ସ;
13. ନମୁନା ସହିତ ମାସ୍କର ଗତିବିଧି ଷ୍ଟ୍ରୋକ ଅତି କମରେ ପୂରଣ ହେବ: X: 5mm;Y: 5mm;: 6º ；
14. energy ଶକ୍ତି ସାନ୍ଧ୍ରତା:> 30MW / cm2,
15. two ଆଲାଇନ୍ମେଣ୍ଟ୍ ପୋଜିସନ୍ ଏବଂ ଏକ୍ସପୋଜର ପୋଜିସନ୍ ଦୁଇଟି ଷ୍ଟେସନରେ କାମ କରେ, ଏବଂ ଦୁଇଟି ଷ୍ଟେସନ୍ ସର୍ଭୋ ମୋଟର ସ୍ୱୟଂଚାଳିତ ଭାବରେ ସୁଇଚ୍ କରେ |
16. ସ୍ତରୀୟ ଯୋଗାଯୋଗ ଚାପ ସେନସର ମାଧ୍ୟମରେ ପୁନରାବୃତ୍ତି ସୁନିଶ୍ଚିତ କରେ |
17. ★ ଆଲାଇନ୍ମେଣ୍ଟ ଫାଙ୍କ ଏବଂ ଏକ୍ସପୋଜର ଫାଙ୍କକୁ ଡିଜିଟାଲ୍ ସେଟ୍ କରାଯାଇପାରିବ |
18. ★ ଏଥିରେ ନାନୋ ଇମ୍ପ୍ରିଣ୍ଟ ଇଣ୍ଟରଫେସ୍ ଏବଂ ନିକଟତର ଇଣ୍ଟରଫେସ୍ ଅଛି |
19. ★ ଟଚ୍ ସ୍କ୍ରିନ୍ ଅପରେସନ୍;
20. ସାମଗ୍ରିକ ଆକାର: ପ୍ରାୟ 1400 ମିମି (ଲମ୍ବ) 900 ମିମି (ମୋଟେଇ) 1500 ମିମି (ଉଚ୍ଚତା) |